高壓探針臺是一種用于高壓環境下測試半導體器件、集成電路或其他電子元件電性能的專用設備,它通過探針與被測器件的接觸,實現對器件內部電信號的**測量,是半導體制造、研發與質量控制過程中*備的工具。
技術原理
高壓探針臺的核心原理在于通過精密的機械定位系統,將探針準確放置在被測器件的指定測試點上,同時提供穩定的高壓環境。其內部集成了高壓電源、信號采集與分析系統,能夠實時監測并記錄測試過程中的電壓、電流等關鍵參數。探針本身通常采用特殊材料制成,以確保在高壓下仍能保持良好的導電性和接觸穩定性。
應用場景
高壓探針臺廣泛應用于半導體行業,特別是在功率器件(如IGBT、MOSFET)、高壓集成電路以及傳感器等產品的研發與生產階段。在研發過程中,它可用于驗證器件的高壓耐受能力、漏電流等關鍵指標;在生產線上,則用于對成品進行抽檢或全檢,確保產品質量的穩定性。此外,高壓探針臺在航空航天、汽車電子等對可靠性要求*高的領域也有著重要應用。