晶圓測試是半導(dǎo)體生產(chǎn)中必不可*的環(huán)節(jié),主要用于驗(yàn)證芯片在裸晶階段的電氣性能。探針臺(tái)在這一過程中起到了至關(guān)重要的作用。具體應(yīng)用包括:
晶圓級(jí)功能測試:探針臺(tái)能夠通過與晶圓上的測試點(diǎn)接觸,測量每個(gè)芯片的電氣性能。測試內(nèi)容通常包括信號(hào)傳輸、電流和電壓的測量等。通過這種測試,工程師可以發(fā)現(xiàn)潛在的制造缺陷,剔除有問題的芯片,提高整體良品率。
故障篩查:在生產(chǎn)過程中,部分芯片可能存在微小的功能性問題,探針臺(tái)能夠迅速進(jìn)行篩查,定位問題區(qū)域。通過反復(fù)的測試與對(duì)比,操作員可以分析出哪些芯片需要進(jìn)一步的處理,哪些芯片*全符合標(biāo)準(zhǔn)。
測試精度要求:隨著芯片集成度的提升,測試點(diǎn)的間距越來越小,要求探針臺(tái)具有更高的定位精度。現(xiàn)代探針臺(tái)通過采用高精度的機(jī)械平臺(tái)和探針控制系統(tǒng),能夠?qū)崿F(xiàn)亞微米級(jí)別的精度,保證每次測試的準(zhǔn)確性。

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